青島蠕動(dòng)泵軟管廠家
發(fā)布時(shí)間：2023-07-08 01:32:09
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蠕動(dòng)泵的工作原理1）蠕動(dòng)泵泵頭分為轉(zhuǎn)子和泵殼，泵管置于轉(zhuǎn)子與泵殼之間的管床上，其作用是將泵管鎖閉。2）轉(zhuǎn)子上的輥?zhàn)右来文脒^(guò)泵管，裝管中的流體擠壓出去。輥?zhàn)幽脒^(guò)后的泵管恢復(fù)原形、形成真空，再將后面的流體抽吸進(jìn)來(lái)。3）在輥?zhàn)又g形成的一個(gè)流體“枕”。其形狀大小與泵管內(nèi)徑與轉(zhuǎn)子的幾何形狀有關(guān)。流速則取決于該枕形流體的速度與尺寸的乘積。此枕形可保持基本不變，除非流體粘度太大。
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高精密蠕動(dòng)泵在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用。高精度蠕動(dòng)泵非常適合半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高純度和腐蝕性化學(xué)環(huán)境。對(duì)于CMP，它提供了在拋光過(guò)程中向芯片分配點(diǎn)漿料所需的線性和重復(fù)性，低剪切力對(duì)CMP漿料溫和，通過(guò)變速操作，可以在大范圍的操作范圍內(nèi)控制流量，保持過(guò)程的完整性。能實(shí)現(xiàn)漿料性能的圓片平整度、高精度蠕動(dòng)泵通過(guò)控制料漿的輸送和分布，有助于實(shí)現(xiàn)這些目標(biāo)。高精度蠕動(dòng)泵的無(wú)創(chuàng)設(shè)計(jì)提供了直線流動(dòng)路徑，沒(méi)有冷凝、固化和污染漿液的死流區(qū)域。流速達(dá)到0.5%。通過(guò)穩(wěn)定的流體輸送，漿液不僅可以繼續(xù)流向拋光墊，還可以減少漿料、化學(xué)物質(zhì)和去離子水的浪費(fèi)。
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選擇管道連接件和口徑的尺寸，蠕動(dòng)泵管道入口應(yīng)盡可能短，管道上的接頭和口徑不應(yīng)小于泵頭上安裝的卡管的口徑。蠕動(dòng)泵吸入力是由泵管排斥引起的，特別是入口管道過(guò)長(zhǎng)或口徑小時(shí)，吸入團(tuán)阻力過(guò)大，阻力過(guò)大時(shí)，泵管反彈受阻，因此運(yùn)輸?shù)膶?shí)際流量會(huì)受到很大損失。同樣，出口管道如果口徑小或管太長(zhǎng)，蠕動(dòng)泵的排放壓力就會(huì)低，因此，如果排放阻力太大，輸出流量就會(huì)減少。
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蠕動(dòng)泵的精度問(wèn)題全部都是圍繞軟管彈性的變化產(chǎn)生的，關(guān)于傳輸液體的變化量。同一種液體的變化量可以用兩方面的因素來(lái)概括，一，傳輸液體溫度的變化量，由于軟管是一種彈性的塑膠體，不同的溫度，會(huì)使它的彈性發(fā)生變化，一般來(lái)說(shuō)，溫度越高，軟管的彈性越差；第二，傳輸液體夜位的變化（即蠕動(dòng)泵吸程的變化），由于蠕動(dòng)泵是靠軟管自身彈性來(lái)吸取液體的，所以吸程的變化對(duì)蠕動(dòng)泵的流速影響較大（蠕動(dòng)泵的揚(yáng)程對(duì)流量幾乎沒(méi)有影響），因?yàn)槲烫幩a(chǎn)生的阻力會(huì)直接抵消軟管回彈的能力，影響回彈腔體的大小。