山東蠕動泵軟管廠商
發(fā)布時間：2023-08-04 01:31:35
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高精密蠕動泵在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用。高精度蠕動泵非常適合半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高純度和腐蝕性化學(xué)環(huán)境。對于CMP，它提供了在拋光過程中向芯片分配點漿料所需的線性和重復(fù)性，低剪切力對CMP漿料溫和，通過變速操作，可以在大范圍的操作范圍內(nèi)控制流量，保持過程的完整性。能實現(xiàn)漿料性能的圓片平整度、高精度蠕動泵通過控制料漿的輸送和分布，有助于實現(xiàn)這些目標(biāo)。高精度蠕動泵的無創(chuàng)設(shè)計提供了直線流動路徑，沒有冷凝、固化和污染漿液的死流區(qū)域。流速達(dá)到0.5%。通過穩(wěn)定的流體輸送，漿液不僅可以繼續(xù)流向拋光墊，還可以減少漿料、化學(xué)物質(zhì)和去離子水的浪費。
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蠕動泵的高精度是泵的特點之一，精度越高灌裝也越準(zhǔn)確，但是什么叫精度高呢？從字面上理解精度就是蠕動泵在灌裝過程中液體灌輸?shù)木瘸潭冗@個母庸質(zhì)疑。然后再看下蠕動泵的這個精度是怎么確定出來的，蠕動泵的精度=（較大實際灌裝量-較小實際灌裝量）/多次灌裝后的灌裝量平均值，通過這個公式我們就可以得出蠕動泵的具體的灌裝精度，當(dāng)然這個精度指的是灌裝的過程當(dāng)中的精度，而并非掛裝結(jié)果。另外需要注意的是生產(chǎn)泵的時候，要想達(dá)到更高的精度，建議使用伺服電機，灌裝精度要比步進(jìn)電機高一些。
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蠕動泵的工作原理1）蠕動泵泵頭分為轉(zhuǎn)子和泵殼，泵管置于轉(zhuǎn)子與泵殼之間的管床上，其作用是將泵管鎖閉。2）轉(zhuǎn)子上的輥子依次碾過泵管，裝管中的流體擠壓出去。輥子碾過后的泵管恢復(fù)原形、形成真空，再將后面的流體抽吸進(jìn)來。3）在輥子之間形成的一個流體“枕”。其形狀大小與泵管內(nèi)徑與轉(zhuǎn)子的幾何形狀有關(guān)。流速則取決于該枕形流體的速度與尺寸的乘積。此枕形可保持基本不變，除非流體粘度太大。
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蠕動泵硅膠管的壽命變短原因：1、檢查泵的轉(zhuǎn)速，是否轉(zhuǎn)速過高，導(dǎo)致硅膠管被過于頻繁的擠壓，沒有適當(dāng)恢復(fù)的時間，從而縮短了軟管的使用壽命。2、工業(yè)蠕動泵長期不使用，沒有定期轉(zhuǎn)動，導(dǎo)致軟管在某處被擠壓很久。注意：1、建議選根據(jù)現(xiàn)場要求流量，來選擇合適的轉(zhuǎn)速，以提高軟管的使用壽命，而不是人為選擇小尺寸，這將導(dǎo)致后期頻繁更換軟管。2、如果長時間不使用，建議拆下軟管。3、建議蠕動泵停機后，及時清洗管道和軟管。(可以用清水順時針或逆時針運轉(zhuǎn)兩三分鐘清洗)。