鎮(zhèn)江蠕動泵軟管價格
發(fā)布時間：2023-09-27 01:30:02
鎮(zhèn)江蠕動泵軟管價格
高精密蠕動泵在半導體行業(yè)的應用。高精度蠕動泵非常適合半導體產(chǎn)業(yè)的高純度和腐蝕性化學環(huán)境。對于CMP，它提供了在拋光過程中向芯片分配點漿料所需的線性和重復性，低剪切力對CMP漿料溫和，通過變速操作，可以在大范圍的操作范圍內(nèi)控制流量，保持過程的完整性。能實現(xiàn)漿料性能的圓片平整度、高精度蠕動泵通過控制料漿的輸送和分布，有助于實現(xiàn)這些目標。高精度蠕動泵的無創(chuàng)設計提供了直線流動路徑，沒有冷凝、固化和污染漿液的死流區(qū)域。流速達到0.5%。通過穩(wěn)定的流體輸送，漿液不僅可以繼續(xù)流向拋光墊，還可以減少漿料、化學物質(zhì)和去離子水的浪費。
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新型蠕動泵在泵軸末端采用了一個凸輪軸和一個轉(zhuǎn)子。這種設計在實現(xiàn)更長的軟管壽命上是徹底的，因為每轉(zhuǎn)只壓縮軟管一次。由于滾輪是在軟管上滾動，當壓縮軟管時對軟管施加的應力要少得多，而且產(chǎn)生的熱量非常少。這種類型的滾動蠕動泵確實也需要甘油來進行輕微潤滑，但是需要的甘油量比其他類型的蠕動泵少很多。例如，80mm滑靴式蠕動泵需要的甘油量為35升，而80mm滾動蠕動泵僅需要8升。甘油消耗量的減少提高了滾動蠕動泵的總體性價比。
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蠕動泵的工作原理是靠擠壓彈性泵管來輸送液體的，由于其密封的特性，泵的出口處會產(chǎn)生一定的壓力。在實際生產(chǎn)環(huán)境中，用戶可能會對壓力調(diào)整有一定需求，這里創(chuàng)銳就和大家分享一下，影響壓力的因素。首先，壓管的間隙是影響蠕動泵的因素之一，這個不難理解，同樣壁厚和材質(zhì)的泵管，被壓的程度大壓管間隙就小，壓力就會增加，反之則減小。例如帶調(diào)節(jié)旋鈕的YZm泵頭，就是通過旋轉(zhuǎn)壓力調(diào)節(jié)旋鈕，壓力就會隨之改變。其次，用蠕動泵串聯(lián)的方式并不能加壓，因為壓力受限于泵管的承受能力，并不是能夠通過串聯(lián)就可以實現(xiàn)更高的壓力的。
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那么蠕動泵的流量有什么規(guī)律可循嗎，答案是肯定的，蠕動泵的流量和轉(zhuǎn)速成正比，比如，測得100轉(zhuǎn)時的流量為100mL/min，那么可以推測200轉(zhuǎn)時的流量就是200mL/min，300轉(zhuǎn)就是300mL/min，以此類推。這就是為什么蠕動泵流量范圍大的泵價格往往越高，因為同一個泵頭，轉(zhuǎn)速越大，流量越大，所需要的驅(qū)動能力就越大，各方面的硬件成本也就越高。蠕動泵的流量是蠕動泵較重要的參數(shù)，是選型首要的先決條件，只有在流量滿足用戶的需求后，才會考慮其他方面是不是合適。