長(zhǎng)沙流量型蠕動(dòng)泵生產(chǎn)廠家
發(fā)布時(shí)間：2023-09-30 01:30:02
長(zhǎng)沙流量型蠕動(dòng)泵生產(chǎn)廠家
一般情況下，蠕動(dòng)泵所設(shè)置的出廠空氣壓力在0.15MPa左右，如果液體揚(yáng)程不超過15米，那么揚(yáng)程的變化量對(duì)蠕動(dòng)泵流速的影響是很微小的，基本可以忽略不計(jì)。這是因?yàn)閺娜鋭?dòng)泵的運(yùn)行原理上來說，蠕動(dòng)泵也是一種容積泵類產(chǎn)品，并且一款合格的蠕動(dòng)泵泵頭可以在其所設(shè)定壓力內(nèi)任意位置截止液體，只要出口處液體壓力不超過蠕動(dòng)泵泵頭所設(shè)定的上限壓力，那么所傳輸?shù)囊后w就肯定不會(huì)有回流的現(xiàn)象存在，蠕動(dòng)泵的流速就是穩(wěn)定的。如果出口處壓力超過了蠕動(dòng)泵泵頭所設(shè)定的較高壓力，那么傳輸?shù)囊后w就會(huì)有回流的現(xiàn)象存在，造成流速的下降。
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蠕動(dòng)泵是怎么產(chǎn)生壓力的？它主要是靠滾輪擠壓軟管的方式來吸取和推動(dòng)流體傳輸，但要保持一定的密封性，才會(huì)產(chǎn)生一定的壓力。它的壓力是靠壓管間隙來決定的，壓力的大小取決于壓管壓的松緊，壓管越松，壓力就會(huì)越小，軟管的壽命會(huì)越長(zhǎng)，松到不密封的時(shí)候就完全沒有壓力了；相反，壓管越緊，壓力會(huì)越大，緊到一定程度的時(shí)候就會(huì)對(duì)軟管產(chǎn)生比較大的疲勞磨損，軟管壽命也因此越短。而且同一個(gè)廠家生產(chǎn)的軟管，也會(huì)有±0.1mm的誤差，這0.1mm的誤差足以使蠕動(dòng)泵壓力產(chǎn)生很大的壓差，也就是說在壓管間隙一定的情況下，軟管不同，壓力就會(huì)不同。
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蠕動(dòng)泵的精度問題全部都是圍繞軟管彈性的變化產(chǎn)生的，一方面的原因，軟管自身的彈性特性又是由兩個(gè)方面決定的，一方面是材料的問題，另一方面是軟管尺寸的問題，關(guān)于軟管材料的問題此處不再做詳細(xì)說明，詳情參見“蠕動(dòng)泵軟管的種類及選型”。關(guān)于軟管尺寸的問題是很好理解的，在壁厚相同的情況下，軟管的內(nèi)徑越大，彈性越差，反之則越好；在內(nèi)徑相同的情況下，軟管的壁厚越厚，彈性越好，反之則越差。所以在精度要求高的場(chǎng)合，要選用合適尺寸的軟管來盡可能減小因此產(chǎn)生的誤差。
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轉(zhuǎn)子蠕動(dòng)泵在轉(zhuǎn)動(dòng)臂末端使用了兩個(gè)或多個(gè)轉(zhuǎn)子。這種轉(zhuǎn)子蠕動(dòng)泵的性能更好，因?yàn)樵谲浌軌嚎s過程中引起的破壞作用較小，而且產(chǎn)生的熱量也更少。轉(zhuǎn)子蠕動(dòng)泵的軟管所承受的應(yīng)力更小，產(chǎn)生的熱量更少，壽命通常比靴式蠕動(dòng)泵適度延長(zhǎng)。該泵的缺點(diǎn)是轉(zhuǎn)子的直徑小。由于轉(zhuǎn)子的直徑小，轉(zhuǎn)子蠕動(dòng)泵只能采用低性能水平的小軸承。在尺寸較大的泵上采用直徑較小的轉(zhuǎn)子，因此轉(zhuǎn)子在轉(zhuǎn)動(dòng)過程中受到的阻力較大，容易出現(xiàn)停轉(zhuǎn)問題。
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高精密蠕動(dòng)泵在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用。高精度蠕動(dòng)泵非常適合半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高純度和腐蝕性化學(xué)環(huán)境。對(duì)于CMP，它提供了在拋光過程中向芯片分配點(diǎn)漿料所需的線性和重復(fù)性，低剪切力對(duì)CMP漿料溫和，通過變速操作，可以在大范圍的操作范圍內(nèi)控制流量，保持過程的完整性。能實(shí)現(xiàn)漿料性能的圓片平整度、高精度蠕動(dòng)泵通過控制料漿的輸送和分布，有助于實(shí)現(xiàn)這些目標(biāo)。高精度蠕動(dòng)泵的無創(chuàng)設(shè)計(jì)提供了直線流動(dòng)路徑，沒有冷凝、固化和污染漿液的死流區(qū)域。流速達(dá)到0.5%。通過穩(wěn)定的流體輸送，漿液不僅可以繼續(xù)流向拋光墊，還可以減少漿料、化學(xué)物質(zhì)和去離子水的浪費(fèi)。