瑞安流量型蠕動(dòng)泵廠家
發(fā)布時(shí)間：2022-05-09 01:44:57
瑞安流量型蠕動(dòng)泵廠家
高精密蠕動(dòng)泵在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用。高精度蠕動(dòng)泵非常適合半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高純度和腐蝕性化學(xué)環(huán)境。對(duì)于CMP，它提供了在拋光過程中向芯片分配點(diǎn)漿料所需的線性和重復(fù)性，低剪切力對(duì)CMP漿料溫和，通過變速操作，可以在大范圍的操作范圍內(nèi)控制流量，保持過程的完整性。能實(shí)現(xiàn)漿料性能的圓片平整度、高精度蠕動(dòng)泵通過控制料漿的輸送和分布，有助于實(shí)現(xiàn)這些目標(biāo)。高精度蠕動(dòng)泵的無創(chuàng)設(shè)計(jì)提供了直線流動(dòng)路徑，沒有冷凝、固化和污染漿液的死流區(qū)域。流速達(dá)到0.5%。通過穩(wěn)定的流體輸送，漿液不僅可以繼續(xù)流向拋光墊，還可以減少漿料、化學(xué)物質(zhì)和去離子水的浪費(fèi)。
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如果蠕動(dòng)泵長期不用，需要注意哪些呢？1)檢查蠕動(dòng)泵及管道和接頭是否有松動(dòng)現(xiàn)象。用手轉(zhuǎn)動(dòng)蠕動(dòng)泵，試驗(yàn)蠕動(dòng)泵是否靈活。2)觀察軸承體內(nèi)加入軸承潤滑油，油位應(yīng)在油表的中心線，潤滑油應(yīng)及時(shí)更換或補(bǔ)充。3)松開蠕動(dòng)泵體的轉(zhuǎn)換插頭，注水(或引草)。(4)關(guān)閉水管的閘閥和出口壓力計(jì)及真空計(jì)。5)啟動(dòng)點(diǎn)動(dòng)電動(dòng)機(jī)，確保電動(dòng)機(jī)旋轉(zhuǎn)正確。6)啟動(dòng)電機(jī)，蠕動(dòng)泵正常工作后，打開出口壓力計(jì)和真空泵，顯示適當(dāng)?shù)膲毫?，然后逐步打開閘閥，檢查電機(jī)負(fù)載情況。7)要使蠕動(dòng)泵的流量和升降機(jī)在路標(biāo)規(guī)定的范圍內(nèi)，使蠕動(dòng)泵保持效率高的工作，才能較大限度地提高節(jié)能效果。
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流量型蠕動(dòng)泵新更換軟管后的實(shí)際流速和驅(qū)動(dòng)器上顯示的流速是有誤差的，需要通過流量校正功能將驅(qū)動(dòng)器上的流速修改為實(shí)際流速，使之顯示和傳輸對(duì)應(yīng)起來。但是軟管的流量傳輸曲線并不是一個(gè)直線，因?yàn)楦鞣N原因的影響是有一個(gè)線性度誤差的，所以當(dāng)進(jìn)行完流量曲線校正后，一旦更改驅(qū)動(dòng)器的電機(jī)轉(zhuǎn)速，那么驅(qū)動(dòng)器顯示的流速數(shù)值和實(shí)際傳輸?shù)牧魉贁?shù)值就會(huì)存在一定的誤差，并且會(huì)隨著速度數(shù)值變化的范圍擴(kuò)大，這個(gè)誤差可能就會(huì)隨著變大。
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蠕動(dòng)泵硅膠管的壽命變短原因：1、檢查泵的轉(zhuǎn)速，是否轉(zhuǎn)速過高，導(dǎo)致硅膠管被過于頻繁的擠壓，沒有適當(dāng)恢復(fù)的時(shí)間，從而縮短了軟管的使用壽命。2、工業(yè)蠕動(dòng)泵長期不使用，沒有定期轉(zhuǎn)動(dòng)，導(dǎo)致軟管在某處被擠壓很久。注意：1、建議選根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)要求流量，來選擇合適的轉(zhuǎn)速，以提高軟管的使用壽命，而不是人為選擇小尺寸，這將導(dǎo)致后期頻繁更換軟管。2、如果長時(shí)間不使用，建議拆下軟管。3、建議蠕動(dòng)泵停機(jī)后，及時(shí)清洗管道和軟管。(可以用清水順時(shí)針或逆時(shí)針運(yùn)轉(zhuǎn)兩三分鐘清洗)。
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轉(zhuǎn)子蠕動(dòng)泵在轉(zhuǎn)動(dòng)臂末端使用了兩個(gè)或多個(gè)轉(zhuǎn)子。這種轉(zhuǎn)子蠕動(dòng)泵的性能更好，因?yàn)樵谲浌軌嚎s過程中引起的破壞作用較小，而且產(chǎn)生的熱量也更少。轉(zhuǎn)子蠕動(dòng)泵的軟管所承受的應(yīng)力更小，產(chǎn)生的熱量更少，壽命通常比靴式蠕動(dòng)泵適度延長。該泵的缺點(diǎn)是轉(zhuǎn)子的直徑小。由于轉(zhuǎn)子的直徑小，轉(zhuǎn)子蠕動(dòng)泵只能采用低性能水平的小軸承。在尺寸較大的泵上采用直徑較小的轉(zhuǎn)子，因此轉(zhuǎn)子在轉(zhuǎn)動(dòng)過程中受到的阻力較大，容易出現(xiàn)停轉(zhuǎn)問題。