濟南蠕動泵生產(chǎn)廠家
發(fā)布時間:2022-05-15 01:44:57濟南蠕動泵生產(chǎn)廠家
高精密蠕動泵在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用。高精度蠕動泵非常適合半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高純度和腐蝕性化學(xué)環(huán)境。對于CMP,它提供了在拋光過程中向芯片分配點漿料所需的線性和重復(fù)性,低剪切力對CMP漿料溫和,通過變速操作,可以在大范圍的操作范圍內(nèi)控制流量,保持過程的完整性。能實現(xiàn)漿料性能的圓片平整度、高精度蠕動泵通過控制料漿的輸送和分布,有助于實現(xiàn)這些目標(biāo)。高精度蠕動泵的無創(chuàng)設(shè)計提供了直線流動路徑,沒有冷凝、固化和污染漿液的死流區(qū)域。流速達(dá)到0.5%。通過穩(wěn)定的流體輸送,漿液不僅可以繼續(xù)流向拋光墊,還可以減少漿料、化學(xué)物質(zhì)和去離子水的浪費。
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蠕動泵軟管作為一個接觸輸送流體的,選購自然也是重中之重。在為泵送腐蝕性流體選擇蠕動泵時,關(guān)鍵是選擇正確的泵管材料。選錯蠕動泵管有可能毀壞設(shè)備及危及人身??刹樵儽眉氨霉苤圃焐趟峁┑拿宽椨猛镜幕瘜W(xué)相容性表。不同管材承受輥子反復(fù)碾壓的能力也各異。一般而言,特定的泵管尺寸、泵管材料、泵頭類型、以及運轉(zhuǎn)速度這幾項參數(shù)的組合決定了泵管的使用壽命。對于某些應(yīng)用場合,為清晰了解灌泵或干運轉(zhuǎn)等工作過程,能透過管道觀察流體的運動情況是非常有價值的。
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蠕動泵泵頭的安裝,用戶在實際使用中安裝或更換泵頭,可參照下列方法進行:單泵頭安裝1) 用一字改錐松開連接泵頭和驅(qū)動器的單泵頭螺釘,把泵頭向后輕輕取下。2) 將需要更換的泵頭主軸軸槽,對準(zhǔn)驅(qū)動電機主軸軸扁,將泵頭輕輕壓入。3) 穿入2支單泵頭螺釘并旋緊,將泵頭與驅(qū)動器緊固。注意:更換泵頭前請先切斷電源,以免發(fā)生危險。在旋緊泵頭螺釘時,應(yīng)盡量保證螺釘?shù)念A(yù)緊力相同,且不宜過緊,以防止泵殼變形產(chǎn)生運轉(zhuǎn)噪聲。串聯(lián)泵頭安裝,泵頭串聯(lián)時,先將后一級泵頭軸扁插入前一級泵頭軸槽內(nèi),以前、后殼體上的銷孔定位,使泵頭對齊,再按單泵頭安裝步驟進行與驅(qū)動器的安裝。
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蠕動泵的優(yōu)點列表:1.除泵管以外,流體不與泵的任何部件接觸。2.無接縫,流體無處可滲漏。3.無須閥門。4.自灌能力(某些機型的抽吸壓頭達(dá)到30 英尺(8.8 米)5.可泵送液體、氣體、固體、或多相混合體。6.從入口到出口可采用一條完整的泵管。7.有些泵管材質(zhì)可承受高溫消,毒過程。8.用完后易清洗,節(jié)省了時間,除了雜物或細(xì),菌聚集之所。9.快速更換產(chǎn)品----只需更換泵管即可----避免交叉感染。10.可在任意位置使用(對方向不敏感)。11.流量調(diào)節(jié)范圍較大。12.有多種類型的泵管供選。13.有多種類型的驅(qū)動器/電機供選。14.易維修。15.不需太多備用部件。16.可應(yīng)用于多通道泵送場合。
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蠕動泵按照流量大小可以分為以下幾類:1、小流量蠕動泵:主要用于實驗和醫(yī)療等行業(yè),流量精度高。2、中流量蠕動泵:主要用于實驗、醫(yī)療和小型生產(chǎn)及分配等,流量精度高。3、大流量蠕動泵:主要用于大流速驗實、生產(chǎn)灌裝和分配以及工業(yè)液體的輸送等。蠕動泵按功能可以分為以下幾類:1、基本型蠕動泵:主要用于連續(xù)工作或長時間的工作模式,2、流量型蠕動泵:除具備基本型功能之外,增加了流量顯示,流量校正,通訊等功能,3、分配型蠕動泵:主要用于定時定量分配,如藥劑瓶的灌裝等,4、氣動型蠕動泵:主要能夠在振動、高溫、電磁、輻射、潮濕、粉塵等惡劣環(huán)境下長時間的高速運轉(zhuǎn)而不會損壞。