杭州蠕動泵軟管生產(chǎn)廠家
發(fā)布時間：2022-05-28 01:44:12
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高精密蠕動泵在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用。高精度蠕動泵非常適合半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高純度和腐蝕性化學(xué)環(huán)境。對于CMP，它提供了在拋光過程中向芯片分配點漿料所需的線性和重復(fù)性，低剪切力對CMP漿料溫和，通過變速操作，可以在大范圍的操作范圍內(nèi)控制流量，保持過程的完整性。能實現(xiàn)漿料性能的圓片平整度、高精度蠕動泵通過控制料漿的輸送和分布，有助于實現(xiàn)這些目標(biāo)。高精度蠕動泵的無創(chuàng)設(shè)計提供了直線流動路徑，沒有冷凝、固化和污染漿液的死流區(qū)域。流速達(dá)到0.5%。通過穩(wěn)定的流體輸送，漿液不僅可以繼續(xù)流向拋光墊，還可以減少漿料、化學(xué)物質(zhì)和去離子水的浪費。
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蠕動泵的驅(qū)動器應(yīng)該如何選擇？驅(qū)動器是蠕動泵的重要組成部分，所以在選擇時要詳細(xì)了解蠕動泵驅(qū)動器的核心內(nèi)容。變速驅(qū)動器：尤其是需要更大流量調(diào)節(jié)范圍的應(yīng)用程序，請考慮變速驅(qū)動器。在正確的時間抽運(yùn)正確的流量需要一定的技術(shù)。變速驅(qū)動器通?？梢栽谳^低速度和較高速度之間進(jìn)行無級變速。固定速度驅(qū)動：指較簡單的流體傳輸方法。蠕動泵系統(tǒng)在整個運(yùn)行期間可以始終保持一定的運(yùn)行速度，在某些情況下，還可以通過更換蠕動泵管道尺寸來更改流量。電動機(jī)速度、減速比和百分比速度調(diào)節(jié)是選擇蠕動泵驅(qū)動器時要考慮的三個關(guān)鍵因素。
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蠕動泵是依據(jù)什么進(jìn)行分類的？使用蠕動泵是為了獲得所需的流量，因此根據(jù)蠕動泵的操作和使用情況，可以分為：1、調(diào)速驅(qū)動泵：具有驅(qū)動泵的基本控制功能、顯示速度、啟動停止、方向、轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)、充電清空、斷電存儲器、外部控制輸入等功能。2、流量聯(lián)鎖泵：除基本功能外，還添加了流量顯示、流量校正、通信等功能。3、分配型蠕動泵：除基本控制功能外，還增加了流量顯示、流量校正、通信、液量分配、再吸入、輸出控制等功能。
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在許多應(yīng)用場合，蠕動泵泵頭的選擇至關(guān)重要。泵頭的正確使用可免除啟動和運(yùn)行過程中許多不必要的故障。下面是選擇蠕動泵泵頭功能時需考慮的因素：流量范圍，對流量的要求決定了泵管的尺寸以及在特定用途中泵頭的類型。泵頭的材質(zhì)，泵頭材質(zhì)應(yīng)具有抗化學(xué)腐蝕性，軸承應(yīng)有外殼保護(hù)，以應(yīng)對具有腐蝕性的流體或惡劣的環(huán)境條件。帶有高性能塑料外殼的泵頭具有重量輕、抗化學(xué)腐蝕性強(qiáng)、價格較低等優(yōu)點。輥子的數(shù)目，在給定尺寸的轉(zhuǎn)子上的輥子減少，則流量增大；但脈動度也增大。在一定時間內(nèi)壓過泵管的輥子數(shù)增加，泵管的真空性能及壓力性能也隨之提高。
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蠕動泵就是在兩個轉(zhuǎn)輥子之間的一段泵管形成“枕”形流體?！罢怼钡捏w積取決于泵管的內(nèi)徑和轉(zhuǎn)子的幾何特征。在工業(yè)行業(yè)中，涉及到滴膠滴漆的行業(yè)，一般都是使用蠕動泵進(jìn)行傳輸，這是為什么呢，一般因為以下2點原因1、膠液或者絕緣漆如果接觸轉(zhuǎn)輪的話，容易污染機(jī)器，不容易維護(hù)清洗。2、一般的泵輸送是不好控制膠液或者絕緣漆的傳輸，涂抹容易不均勻。蠕動泵的傳輸只用到了泵管，可以連續(xù)精準(zhǔn)的將流體傳輸?shù)街付ㄎ恢?，所以在合掌機(jī)，滴漆裝置上才會有蠕動泵活躍的身影。
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蠕動泵的精度問題全部都是圍繞軟管彈性的變化產(chǎn)生的，一方面的原因，軟管自身的彈性特性又是由兩個方面決定的，一方面是材料的問題，另一方面是軟管尺寸的問題，關(guān)于軟管材料的問題此處不再做詳細(xì)說明，詳情參見“蠕動泵軟管的種類及選型”。關(guān)于軟管尺寸的問題是很好理解的，在壁厚相同的情況下，軟管的內(nèi)徑越大，彈性越差，反之則越好；在內(nèi)徑相同的情況下，軟管的壁厚越厚，彈性越好，反之則越差。所以在精度要求高的場合，要選用合適尺寸的軟管來盡可能減小因此產(chǎn)生的誤差。